Wie tief soll es gehen?
Lasercavities gehen bis zu einer bestimmten Lage des Multilayeraufbau – nicht weiter!
Durch die Verwendung eines CO2 Lasers wird nur das Dielektrikumsmaterial des Multilayers entfernt. Die Kavität endet exakt auf der Lage, die durch eine Cu Schicht begrenzt ist.
